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一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用.pdfVIP

一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用.pdf

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    本发明涉及光刻胶技术领域，公开了一种由2‑环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用，所述可降解型树脂单体的结构通式如下：其中R为烷基或杂烷基。可降解型树脂单体上含有叔丁基结构，在曝光时，光致产酸剂会产生酸，在酸的作用下，叔丁基结构会断开，导致聚合主链断开，形成小片段，能够改善光刻图形的边缘粗糙度，提高光刻胶的分辨率，断开后形成了具有良好碱溶性的羟基，有利于显影过程中的溶解，增加曝光后光刻胶在显影液中溶解速度，增大光刻胶的对比度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113429293 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110700758.6 C07F 7/18 (2006.01)

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