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一种M形同轴天线915MHz微波等离子体化学气相沉积装置。包括微波入口、上圆柱谐振腔、真空石英环、M形同轴天线、下圆柱谐振腔、测温窗口、第二调谐结构、排气口、第一调谐结构、沉积台、衬底、等离子体区、进气口、偏压电极。M形同轴天线的M形顶角对微波具有强汇聚作用,可提高微波耦合效率,并强化电场和等离子体强度。真空石英环置于M形同轴天线顶部。M形同轴天线底部中心放置偏压电极,偏压电极无需从M形同轴天线底部进一步突出就可形成强偏压电场,避免偏压电极伸出影响微波耦合;沉积台、第一调谐结构、第二调谐结构均可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113481595 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 202110634248.3 C23C 16/511 (2006.01)
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