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本发明提供六维测量装置及方法，装置部分包括竖直位移测量单元、水平位移测量单元、角度测量单元、二维光栅、单频激光器、处理器单元；二维光栅与待测物体固定连接，单频激光器发出的单频激光射入二维光栅产生衍射，当二维光栅的位置发生改变时，衍射光的形态发生改变；将衍射光的数据传递至处理器单元，处理器单元根据接收的数据，计算得到二维光栅的水平位移、竖直位移和角度变化。本发明运用处理器单元对信号进行解耦处理，可实现单次衍射的四倍光学细分。本发明还采用对称的结构分布和四步相移相结合的方式，消除测量系统在光程上引入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113465514 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202110722961.3 WO 2014201950 A1,2014.12.24
(22)申请日
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