有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。在使用等离子体去除抗蚀膜时，抑制对衬底造成的损伤并且不需要使用SPM。在等离子体处理(步骤S102)中，执行对抗蚀膜(R)的表面供给自由基(活性种)的自由基供给步序。然后，执行抗蚀剂去除步序，即，在自由基供给步序之后对存在于衬底(S)的正面(Sa)的抗蚀膜(R)供给低表面张力的有机溶剂，由此从衬底(S)的正面(Sa)去除抗蚀膜(R)(步骤S104)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451124 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110198269.5
(22)申请日 2021.02.22
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 使用上行链路随机接入信道消息的用户设备位置确定.pdf
- GaN结晶和基板.pdf
- 无线通信系统中用于副链路终端发送和接收与信道状态报告相关的信号的方法和装置.pdf
- 有机半导体器件、有机半导体单晶膜的制造方法、以及有机半导体器件的制造方法.pdf
- 空气调节机.pdf
- 空气调节机.pdf
- SSP终端在捆绑包下载过程和ESIM配置文件下载过程之间进行互操作的方法.pdf
- 方形钢管、其制造方法以及建筑结构物.pdf
- 用于电动机器的互连组件和定子.pdf
- cBN烧结体及切削工具.pdf
- 2024年江西省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）物理试卷（含答案详解）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）地理试卷（含答案详解）.pdf
- 2024年内蒙通辽市中考化学试卷（含答案逐题解析）.docx
- 2024年四川省攀枝花市中考化学试卷真题（含答案详解）.docx
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）化学试卷（含答案）.pdf
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.pdf
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）生物试卷（含答案）.pdf
- 2024年湖南省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.docx
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.docx
文档评论（0）