镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机.pdfVIP

镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机.pdf

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本申请涉及一种镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机;所述真空镀膜机包括:真空腔室,与所述真空腔室连接的腔门,所述腔门通过合页与真空腔室连接;该开关门装置包括:设置在所述腔门上的门板把手,设置在所述真空腔室外侧的固定底座,连接所述固定底座的驱动部件,以及连接所述驱动部件与门板把手之间的转动连接部件;在真空镀膜机开关门过程中,所述驱动部件驱动所述门板把手运动,使得真空门绕所述合页转轴转动,开启或者关闭所述腔门。实现了智能化控制功能,降低了操作者开关镀膜机腔门的风险,降低了开关门过程对镀膜

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113464009 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202110903933.1 (74)专利代理机构 广州市律帆知识产权代理事

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