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2023-06-23 发布于四川
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本发明提供一种曝光装置，该曝光装置具有：曝光部，在基体材料(9)上曝光图案；工作台(41)，具有与基体材料(9)的一个主面接触的保持板(43)，所述工作台(41)保持基体材料(9)；光学单元(5)，通过经由设置于保持板(43)的开口(432)向基体材料(9)的该主面照射光，使在曝光部曝光图案中所参照的参照标记形成于该主面；以及气体供给部(71)，向光学单元(5)中配置在最靠近保持板(43)侧的透光构件(541)与保持板(43)之间供给规定的气体。由气体供给部(71)供给的气体在透光构件(541)

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113448178 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110304668.5 (22)申请日 2021.03.22 (30)优先权数据 2020-0526

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