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本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。衬底处理方法包含:亲水化步骤,使衬底的表面亲水化;处理液供给步骤,向已亲水化的所述衬底的表面供给处理液;处理膜形成步骤,使供给至所述衬底的表面的所述处理液固化或硬化,在所述衬底的表面形成保持所述衬底的表面所存在的去除对象物的处理膜;及剥离步骤,向所述衬底的表面供给剥离液,将保持着所述去除对象物的状态的所述处理膜从所述衬底的表面剥离。所述剥离步骤包含使所述处理膜部分溶解于所述剥离液,而在所述处理膜形成贯通孔的贯通孔形成步骤。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451113 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110313531.6
(22)申请日 2021.03.24
(30)优先权数据
2020-0533
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