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本发明属于椭偏测量相关技术领域,并公开了一种微光斑椭偏仪中的微透镜偏振效应校准方法。该方法包括下列步骤:(a)采用椭偏仪测量样品在有和无微透镜的情况下的穆勒矩阵,以此获得微透镜的测量穆勒矩阵Mm;(b)将微透镜等效为相位延迟器,将来自椭偏仪并透过微透镜的光线离散为多条均匀分布的光线,根据每条光线的穆勒矩阵计算获得微透镜的初始穆勒矩阵;(c)比较微透镜的测量穆勒矩阵与初始穆勒矩阵,调节所述微透镜特征值的初始值,直至初始穆勒矩阵等于测量穆勒矩阵,此时特征值为所需的特征值;(d)构建微透镜的相位延迟量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113466140 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202010244093.8 G02B 27/28 (2006.01)
(22)申请日 2020.03
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