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本发明提供了一种石英管清洗装置及清洗方法,该石英管清洗装置包括底部具敞口的清洗罩,与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座,设置于底座内并箍持石英管的承载台,以及驱动装置;清洗罩的顶部设置第一喷嘴,清洗罩的侧壁竖直设置若干第二喷嘴,承载台垂直设置内喷管,内喷管位于承载台上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴;底座嵌设回旋密封装置,内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置;驱动装置驱动承载台旋转,内喷管在承载台旋转过程中保持静止。通过申请,实现了对各种尺寸的石英管进行高效清洗作业,能够满足不同直径石英管
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113500070 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202111059562.X B08B 13/00 (2006.01)
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