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本发明属于可降解型光刻胶树脂单体,公开了一种含无氟光致产酸剂的可降解型树脂单体及其制备方法和应用,其结构通式如下:其中,P1、P1、P3各自独立的为氢或者烷基。其制备方法为,丙二酰氯Ⅰ与4‑羟甲基环己酮经酯化反应形成中间体Ⅱ;中间体Ⅱ经磺化反应生成中间体Ⅲ;中间体Ⅲ与三苯基卤化硫或者取代苯基卤化硫反应生成中间体Ⅳ;中间体Ⅳ与2‑甲基‑2‑丙烯酸‑2,3‑二羟基丙酯反应形成半缩醛结构的树脂单体Ⅴ。本发明的树脂单体结合有光致产酸剂,具有防止光致产酸剂的扩散,改善边缘粗糙度,增加对比度,提高分辨率的性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113429377 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110695006.5
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 徐州博康信息化学品有限公司
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