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基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器.pdfVIP

基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器.pdf

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    本公开提供一种基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器，基于斜切角衬底的晶体管包括：衬底(1)和形成在衬底(1)上方包含有栅极感应区域的帽层(8)；其中，衬底(1)中靠近帽层(8)的面和栅极感应区域均为连续波浪形的台阶结构，台阶结构的台阶面倾斜，栅极感应区域用于气体探测。本公开的连续波浪形台阶结构，大大增加了栅极感应区域的表面粗糙度，提高了气体吸附效率。台阶结构的台阶面倾斜，增大了器件电流密度，提高了气体传感器的输出电流和灵敏度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113437146 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202110695078.X H01L 29/06 (2006.01)

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