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本发明提供了一种晶圆圆心偏移检测方法,包括:驱动晶圆在转盘上旋转一周;获取旋转时在摄像机下形成的多个图像;根据所述多个图像计算晶圆的偏移角度;根据所述多个图像计算晶圆的偏移距离;根据所述晶圆的偏移角度和偏移距离计算圆心的偏移坐标。本发明采用旋转载台带动晶圆转动,定点拍照,结构简单,采集分辨率自由可控制;精准推导圆心偏移公式,求取圆心偏移采用分离计算方法,采用多测量数据进行拟合来提高测量准确度,对微小数据进行等效估算,在数据保真前提下降低计算难度。利用余弦三角函数的曲线特点,对数据进行校验、插补、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113470108 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202111035616.9 (56)对比文件
(22)申请日 2021.09.06
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