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本发明公开了一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线，该方法包括S1.低可视透明天线结构的设计；S2.将低可视透明天线结构图形出到菲林片上制作菲林掩膜版；S3.对透明导电膜和感光干膜进行预定尺寸的裁切以及前处理；S4.透明导电膜表面贴上感光干膜，将贴好感光干膜的导电薄膜曝光；S5.显影露出透明天线的结构图案；S6.通过刻蚀液刻蚀出透明天线的形状；S7.去除透明导电膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明导电膜；S8.将得到的透明导电膜贴在透明板材上；S9.对透明板材进行裁切，得到所需透明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113437504 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110702327.3
(22)申请日 2021.06.21
(71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究
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