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本发明公开了一种跟踪对焦装置及方法,所述装置包括:检测头、探测头、Z向电机、Y向电机;其中,检测头安装在Z向电机上;探测头安装于Y向电机上;Z向电机安装在Y向电机上,检测头和探测头在Y向上具有预设安装距离。每个检测头负责检测产品的一部分区域,检测头相对于产品走“己”字型路线,完成负责区域的检测。在检测时检测头和产品之间在X方向上做相对运动,X方向上每一行检测完成后检测头和产品之间在Y方向上移动所述预设安装距离。预设安装距离小于所述检测头的检测宽度。本发明通过提供分体式的跟踪对焦装置,解除了检测头
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113489912 B
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202111035617.3 审查员 刘珊
(22)申请日 2021.09.06
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