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本发明公开了一种多波段可调多尺度超材料、制备方法和光谱检测方法。由从下到上依次层叠布置的拉伸层、非拉伸支撑层、金属层、纳米颗粒层构成,拉伸层为聚二甲基硅氧烷层,非拉伸支撑层为聚酰亚胺层,金属层为金层,纳米颗粒层为修饰有疏水基团的纳米颗粒层;硅片上先真空蒸镀氟硅烷,旋涂聚二甲基硅氧烷加热固化;等离子清洗后旋涂聚酰亚胺固化,溅射金,将修饰疏水基团的纳米颗粒在水面上自组装再转移到金属层上,按照图案刻蚀分离取下。本发明超材料可在多个波段实现可调谐的功能,能利用多波段的优势用于感知生物化学分子;该超材料还
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113463020 B
(45)授权公告日 2022.04.29
(21)申请号 202110704566.2 C23C 14/20 (2006.01)
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