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本申请涉及一种电极、干蚀刻设备和制造电极的方法。电极包括：铝基板（12），包括反应性气体的入口侧表面（13）和与入口侧表面（13）相对的反应性气体的出口侧表面（15），其中铝基板（12）还包括从入口侧表面延伸至出口侧表面（15）的多个均匀分布的贯通孔，贯通孔包括进气通道和与进气通道连通的安装孔（17）；以及多个嵌入体，每个嵌入体（14）由陶瓷制成并且从出口侧表面（15）被嵌入安装至安装孔，其中每个嵌入体（14）包括出气通道，出气通道与进气通道连通以使得来自入口侧表面的反应性气体进入进气通道并且通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113436956 B
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202110984975.2 H01L 21/3065 (2006.01)
(22)申请日
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