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本发明属于先进光学制造与光学检测技术领域，涉及一种薄膜材料激光损伤的识别方法及装置。本发明是对薄膜施加强激光，一旦其发生损伤，导致石英晶片等效厚度发生了变化，通过测量激光辐照前后的晶片振荡周期（或频率），确定薄膜是否损伤，并采用特定的装置完成。本方法判别灵敏度高，以薄膜材料是否损失作为直接判断依据，因此不存在“误判”现象；本发明所采用的装置结构简单，集成化高，可实现在线判别，对激光损伤的判别可以在毫秒内完成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113447497 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110677862.8
(22)申请日 2021.06.18
(71)申请人 西安工业大学
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