阴极驱动单元、溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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阴极驱动单元、溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法.pdf

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描述了一种用于沉积源的阴极驱动单元(100)。所述阴极驱动单元包括：阴极支撑件(102)；和带驱动器，所述带驱动器用于旋转所述阴极支撑件。所述带驱动器包括：第一滑轮(112)，所述第一滑轮耦接到驱动所述阴极支撑件的轴(103)；驱动组件(120)，所述驱动组件具有第二滑轮(114)；带(116)，所述带与所述第一滑轮和所述第二滑轮接合；引导件(130)，所述引导件支撑所述驱动组件的至少一部分；和张紧器(140)，所述张紧器向所述驱动组件的至少所述部分提供力以用于沿所述引导件移动所述驱动组件的至少

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454752 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 201980091971.2 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

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