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等离子体反应设备及物料处理方法.pdfVIP

等离子体反应设备及物料处理方法.pdf

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    本发明涉及一种等离子体反应设备及物料处理方法，设备包括工作台、反应仓、真空模组、送气模块、射频模组及驱动件。反应仓可转动地装配于工作台，且具有反应腔，可以在反应腔内放置需要处理的物料，例如粉体物料。真空模组对反应腔抽真空，在反应腔内形成真空环境；送气模块向反应腔输送气体，射频模组围设于反应仓外周，向反应腔发射射频波，使反应腔内送入的气体发生电离形成等离子体来处理放置在反应仓内的物料，以改变物料表面的性能；驱动件对反应仓提供旋转驱动力，反应仓在驱动件的驱动下相对工作台转动，以使粉末状物料可以在反应

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113451093 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 20201

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