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本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置,属于真空镀膜技术领域,包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件;所述电弧阴极设置在所述安装法兰上,所述安装法兰与所述偏转室的一端连接,所述偏转室的另一端与所述真空室连通,所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式,能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转,完成大颗粒的过滤,使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善,有利于大面积和均匀沉积;并且在完成膜层沉积时,工件转架具有很大的自由设计空间,不被
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113463039 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110744587.7 (56)对比文件
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