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一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置.pdfVIP

一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置.pdf

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    本发明公开了一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置，属于真空镀膜技术领域，包括上下对称的上部与下部，所述上部与下部均包括样品置物台、样品固定底座、伸缩杆组件、伸缩杆限位筒、伸缩杆驱动组件、旋转座、底座驱动组件、支撑限位组件，所述样品置物台设置在所述样品固定底座上，由所述样品固定底座对其卡紧或放松，所述样品固定底座与所述伸缩杆组件的一端连接，另一端设置在所述伸缩杆限位筒内部，所述伸缩杆限位筒与所述旋转座连接，所述伸缩杆驱动组件驱动所述伸缩杆组件实现伸缩。本发明在样品翻转过程中，并未采用任何夹具的形式，而是

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113463056 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110746018.6 审查员 王姗 (22)申请日 2021.07.01

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