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本发明提供了一种下位机、半导体工艺设备及其工艺控制方法，涉及半导体工艺技术领域，该下位机包括：工艺控制模块；工艺控制模块，用于在接收到上位机发送的工艺开始指令时，获取存储的工艺配方数据，执行工艺开始指令对应的工艺配方；在执行工艺配方的每个工艺步骤的过程中，监测是否产生工艺异常告警；在工艺异常告警产生时，基于预设告警处理策略自动消除工艺异常告警对应的报警源。本发明能够使工艺控制模块完全在下位机中运行，避免工艺控制过程受到控制软件或操作系统故障影响，且可以自动进行告警处理，提升了半导体工艺设备的工艺
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116313907 A
(43)申请公布日 2023.06.23
(21)申请号 202310174323.1
(22)申请日 2023.02.24
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地
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