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基于平行平板传输线的微波大气压等离子源.pdfVIP

基于平行平板传输线的微波大气压等离子源.pdf

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    本发明提供了一种基于平行平板传输线的微波大气压等离子源，包括：两块平行设置的介质板和位于所述两块介质板之间的间隙调节垫片，所述介质板的两侧各突出地形成有一个相对所述介质板的轴线倾斜设置的进气部，两个所述介质板的对应的进气部之间形成进气口，两个所述介质板相对的一侧沿所述轴线形成有馈电铜带，两个所述介质板之间还设置有石英片，所述石英片位于所述微波大气压等离子源的出口端。本发明借助平行平板传输线，构成了一种微波大气压介质阻挡放电装置，该装置体积小，质量轻，工作频带宽，放电间隙可调，激发等离子体温度低，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113573456 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202110888285.7 H05H 1/16 (2006.01) (22)申请日 2021.08.

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