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本发明公开了一种单光纤多维F‑P传感装置及其测量方法,其包括光源、光纤、分光棱镜、至少两个反射件以及解调仪;光源产生光束;光纤将光束传输至分光棱镜,光纤包括镀有第一增透膜的光纤端面;分光棱镜包括分光面以及与反射件对应的至少两个反射面,反射面平行于反射件,且反射面和反射件构成腔长不相同的至少两个F‑P腔;分光面用于将光束分割为与反射面对应的至少两个子光束,子光束分别在反射面处生成子反射光束和子透射光束,子透射光束分别进入F‑P腔并经由反射件反射后与子反射光束发生干涉,生成至少两个子干涉光束;解调仪
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113587962 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202110815130.0 US 2007/0193362 A1,2007.08.23
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