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本发明公开了一种环保型氧化铌靶材的加工工艺，包括制备氧化铌和金属铌的金属混合液，制备雾化颗粒，经过干燥、筛料和混匀后，利用3D打印机制备氧化铌靶材坯料，最后经过精加工处理，得到氧化铌靶材成品，涉及靶材加工技术领域；通过将氧化铌粉末和金属铌粉末熔化后形成金属混合液，采用气雾法对金属混合液进行造粒，相较于采用传统的磨粉机进行磨粉后混合造粒，一方面能够有效提高原料颗粒的密度，同时提高原料颗粒的均匀度，另一方面造粒工艺效率高，且成本消耗较低，无需对原料粉体进行纳米化，解决了原料粉体逸散浪费的问题，最后采
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113564545 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202110852883.9 B33Y 10/00 (2015.01)
(22)申请日
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