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本申请提供了一种无源段脊波导结构及其制造方法、激光器，包括第一波导、第二波导和扩展波导；第一波导包括进光端和出光端，第二波导位于第一波导靠近出光端的一侧，以使部分从进光端进入的光束依次经过出光端和第二波导传播至无源段脊波导结构外；扩展波导设置在第二波导的外周侧，第一波导沿朝向第二波导的方向截面递减，以使部分从进光端进入的光束经过第二波导传播至无源段脊波导结构外。制造方法包括制作掩膜，将掩膜盖在基材上，通过干法刻蚀与湿法腐蚀在基材上刻蚀出第一波导、第二波导和至少一个扩展波导，本申请提供的一种无源段
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113572025 B
(45)授权公告日 2021.12.28
(21)申请号 202111121270.4 审查员 何雅静
(22)申请日 2021.09.24
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