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一种铟靶材及其制备方法.pdfVIP

一种铟靶材及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种铟靶材及其制备方法。所述方法包括如下步骤：S1：将背板安装在模具中，然后预热模具；S2：在背板表面涂布铟靶材熔液，然后将铟靶材熔液浇铸入模具；S3：将装有铟靶材熔液的模具自中部向两端分区域冷却，得到凝固的靶材；S4：将凝固的靶材放入水中淬火，得到所述铟靶材。本发明采取分区域冷却和淬火结合的方式，一方面，本发明将铟靶材熔液自中间区域向两端冷却，保证在冷却的过程中将锁孔往两端排挤，确保靶材内部无缩孔影响靶材的质量。另一方面，提高了靶材的晶粒尺寸的均匀性，保证靶材溅射沉积厚度的均匀性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113652652 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110818282.6 (51)Int.Cl.

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