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本发明提供了一种基于微流控的可调光束分束器，包括：激光器、流体控制系统、Y分支波导和带CCD的倒置荧光显微镜；Y分支波导为PDMS在硅片上倒模制成的微流控芯片，且关于水平线对称，包括：芯层，位于芯层上方的包层A，位于芯层下方的包层B，位于波导末端的包层C，Y分支波导的分支点前设置一个朝向通道入口方向的楔形块，激光器输入光源通过光纤耦合到微流控芯片中，通过流体控制系统控制流体的流量大小，改变芯层流体的位置和宽度以实现动态调节分光比。本发明使用PDMS微流控芯片构建流体光波导进而得到一种基于微流控的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113687506 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110764885.2 (56)对比文件
(22)申请日 2021.07.06
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