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压电器件及其制作方法.pdfVIP

压电器件及其制作方法.pdf

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    本发明涉及一种压电器件的制作方法以及压电器件。其中，压电器件的制作方法包括：提供基底；于基底表面形成压电材料层；于压电材料层表面形成保护材料层；于保护材料层表面形成图形化掩膜层；基于图形化掩膜层，依次对保护材料层以及压电材料层进行刻蚀，以依次形成保护层以及压电初始层，并去除图形化掩膜层以及保护层；对压电初始层进行处理，以形成表面粗糙度小于压电初始层表面粗糙度的压电层。本申请可以有效提高压电器件的压电性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113690365 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110839236.4 (22)申请日 2021.07.23 (71)申请人 绍兴

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