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提供导通特性优异且能够以低成本制造的、层叠具有贯通电极的半导体基板的多层基板。在多层基板的俯视观察中,导电粒子选择性地存在于贯通电极所对置的位置。多层基板具有对置的贯通电极通过导电粒子连接、形成有该贯通电极的半导体基板彼此通过绝缘粘接剂粘接的连接构造。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113690209 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202110755784.9 H01L 23/544 (2006.01)
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