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本发明涉及一种阻挡等离子体反流的进气结构，将进气结构的进气导向体本体分成三部分，分别为顶部进气导向体、若干分层进气导向组以及底部进气导向体，其中，顶部进气导向体设置在进气法兰与进气喷嘴交接处，底部进气导向体设置在进气喷嘴底部，若干分层进气导向组设置在顶部进气导向体、底部进气导向体之间；在进气喷嘴的封闭端圆周壁上对称开设两个出气口，出气口与进气喷嘴的封闭端之间形成锐角，同时底部进气导向体与出气口贯通；通过将导气通道设计成弓形，可以减小腔体内等离子体回流及阻止回流气体接触高功率射频部件，避免了进气导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113707524 B
(45)授权公告日 2022.06.10
(21)申请号 202010428873.8 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2020.05
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