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本公开的实施方式中的贯通电极基板具备:基板,其具有第1面以及第2面,包含贯通该第1面和该第2面的贯通孔;以及贯通电极,其配置在贯通孔的内部。贯通电极包含:在第1面侧堵塞该贯通孔的第1部分;以及沿着贯通孔的内侧面配置的第2部分。在第1部分中沿着与第1面垂直的方向最薄的部分具有厚度A,在第2部分中最薄的第2部分具有厚度B,贯通孔的第1面中的直径具有长度C。满足A<C<A+B×2的关系。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113711347 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202080028578.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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