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本发明提出了一种防击穿离子源放电装置,包括放电室、线圈支撑、上绝缘固定块、放电构件和离子源腔室,放电构件包括一射频线圈、下导电连接件和上导电连接件;射频线圈固定在线圈支座上;线圈支座卡设在离子源腔室的底部内壁上;线圈支撑沿线圈支座的周向设置;射频线圈穿过线圈支撑;上导电连接件自射频线圈的外部,依次绕过射频线圈和线圈支座,并自线圈支座的底部伸入放电室底部;上绝缘固定块套设在上导电连接件上并固定在离子源腔室的底部内壁上。本发明通过增大上导电连接件和放电室底部的距离、下导电连接件和放电室底部的距离,解
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113709959 A
(43)申请公布日
2021.11.26
(21)申请号 20201
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