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本发明涉及巨量转移技术领域，具体涉及一种微元件回收方法及其回收系统，该方法包括：收集转移失败后的至少一个微元件；使微元件在第一方向上受到第一作用力，并使微元件在第二方向上受到第二作用力；以及，通过第一作用力与第二作用力的共同作用，使微元件由初始位置位移至目标位置；回收位于目标位置上的微元件；在本发明的微元件回收方法及系统中，其对容器中混合的红、绿、蓝三种颜色的LED芯片等微元件进行收集，然后在回收容器中通过同等的第二作用力使得微元件进行水平移动，由于各种微元件的质量不同，故其进入收集装置中所需时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113707768 B
(45)授权公告日 2022.08.26
(21)申请号 202010444384.1 B03C 1/26 (2006.01)
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