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一种光栅设置在反射镜上用于镜面反射和衍射掠入射辐射束，并且具有带有光栅周期的周期性结构，该光束周期包括在面向入射束800的侧壁806的任一侧处的第一子结构(脊)和第二子结构(沟槽)。脊被配置为沿零级方向β＝β将来自脊的平坦顶部808的束镜面反射成镜面反射束810。光栅配置有固定或变化节距，以沿一个或多个非零衍射级方向β≠β衍射来自光栅周期的束。沟槽的形状可以由定义沟槽的纵横比的结构参数，即，顶部宽度和深度来描述。该形状被确定为使得从沟槽底面反射一次到零级方向的束的任何射线(以及可选衍射)都被
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113711090 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202080026903.0 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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