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具有专门针对活动层的寻址能力的垂直腔面发射激光器.pdfVIP

具有专门针对活动层的寻址能力的垂直腔面发射激光器.pdf

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    一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)可以包括外延结构，该外延结构包括第一活性层、第二活性层和在二者之间的隧道结。VCSEL可以包括电连接到外延结构的一组接触部。该组接触部可以包括三个或更多个接触部，并且该组接触部可以在VCSEL上彼此电分离。该组接触部中的至少一个接触部可以在第一活性层和第二活性层之间的一深度处电连接到外延结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113708215 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110552967.0 (22)申请日 2021.05.20 (30)优先权数据 63/028,23

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