一种大规模集成的电光微环光学相控阵.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种大规模集成的电光微环光学相控阵.pdf

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本发明公开了一种大规模集成的电光微环光学相控阵，至下而上包括硅衬底、二氧化硅掩埋层和硅芯层；二氧化硅掩埋层附着在硅衬底；在硅芯层这一层上还包括用于接收激光光源并将激光光源引导至光分束网络的光栅耦合器、用于将光栅耦合器输出的光源分成多路信号并传输至相位调谐区的光分束网络、用于产生相位差光束的相位调谐区和用于将产生的相位差光束发射至自由空间的天线阵列；相位调谐区包括由多个阵元构成的调谐阵列、与光分束网络连接的直波导、用于控制阵元的电压输出的控制总线；每个阵元均包括定向耦合器、p‑i‑n调制器和电极片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113703244 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110953527.6 (22)申请日 2021.08.19 (71)申请人扬州

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