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2023-07-01 发布于四川
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一种磁悬浮式衬底传送腔及传送方法.pdf

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本发明涉及半导体加工传输技术领域，提出一种磁悬浮式衬底传送腔及传送方法。该传送腔可以在外接半导体设备与功能腔室之间传送衬底，包括：进片互锁腔体，其连接传送腔体以及所述外接半导体设备；以及传送腔体，其包括：隔离阀，其布置于所述传送腔体侧壁上，其中所述隔离阀连接所述功能腔室；磁悬浮致动器定子，其布置于所述传送腔体底部，其中所述磁悬浮致动器定子被配置为通过磁悬浮方式控制磁悬浮致动器动子运动磁悬浮致动器动子，其布置于所述传送腔体内部，所述磁悬浮致动器动子连接一个或者多个端末作用器；以及端末作用器，其被配

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113707585 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110964942.1 (22)申请日 2021.08.23 (71)申请人上海引万光电科技有限公司

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