控制工艺腔室清洁气体用量的方法及工艺处理系统.pdfVIP

控制工艺腔室清洁气体用量的方法及工艺处理系统.pdf

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公开控制工艺腔室清洁气体用量的方法及工艺处理系统。控制工艺腔室的清洁气体用量的方法包含：供应清洁气体至工艺腔室，以清洁工艺腔室；于清洁期间，利用摄像装置获取工艺腔室的影像；利用影像处理装置识别影像，以判断工艺腔室的清洁是否完成；以及当判断工艺腔室的清洁为完成时，停止供应清洁气体。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113699507 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202111011979.9 C23C 14/54 (2006.01)

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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