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本发明的实施例提供了一种集成电路制造系统，包括：室，在所述室中对衬底进行集成电路制造；加热装置，用于在所述集成电路制造过程中加热所述衬底；和衬底保持器件，用于在所述集成电路制造期间将所述衬底固定在所述室中，其中所述衬底保持器件包括：基部，具有基本圆形表面和从基本圆形表面延伸的圆柱形表面，以及连续的环形部分，设置在基部内并且具有在所述环形部分上限定的接触表面，其中所述接触表面配置为接触被保持的所述衬底的边缘，所述衬底保持器件不接触被保持的所述衬底的圆周表面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113707598 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202110982312.7 H01L 21/67 (2006.01)
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