反射镜，成像光学单元，以及投射曝光设备.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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反射镜，成像光学单元，以及投射曝光设备.pdf

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本发明涉及投射光刻的成像光学单元(7)，其具有多个反射镜(M1至M8)，用于将成像光(3)从物场(4)引导到像场(8)中。物场(4)跨越于两个物场坐标(x,y)，法线坐标(z)垂直于这两个物场坐标。成像光(3)在第一成像光平面(xzHR)中传播穿过成像光学单元(7)的至少一个第一平面中间像(18)。在第二成像光平面(yz)中，成像光传播穿过成像光学单元(7)的至少一个第二平面中间像(19,20)。第一平面中间像(18)的数量和第二平面中间像(19,20)的数量彼此不同。结果是制造成本减少的成像光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113703286 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202110849038.6 G02B 17/06 (2006.01) (22)申请日 2

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