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本发明公开一种复合型减反射膜及其制作方法,制作方法包括步骤:将衬底置于磁控溅射设备中,控制氩气的流量,并控制ICP中氩气和氧气的流量比,在衬底上交替形成低致密度的多层第一膜层和多层第二膜层,其中第一膜层具有第一折射率,第二膜层具有第二折射率,第一折射率和第二折射率不同,且位于最外层的为第一膜层;降低氩气的流量,保持ICP中氩气和氧气的流量比,在最外层第一膜层上形成高致密度且具有第一折射率的第三膜层。本发明中,由第三膜层有效地“抵挡水汽”,减少反射率变化的可能性,从而减少影响光学效果的可能性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113699497 A
(43)申请公布日 2021.11.26
(21)申请号 202110797334.6
(22)申请日 2021.07.14
(71)申请人 信利光电股份有限公司
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