一种氢同位素气体的快速配制并检测的一体化装置及方法.pdfVIP

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2023-07-01 发布于四川
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一种氢同位素气体的快速配制并检测的一体化装置及方法.pdf

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本发明公开一种氢同位素气体的快速配制并检测的一体化装置及方法，将高纯氢同位素气体罐、同位素混合气体罐、真空泵、气体质量流量计、气体质量控制器、压力计按照一定的方式组合起来构成氢同位素气体快速配制及检测一体化装置，氢同位素混合气依次通过质量流量计和质量流量控制器，结合高纯同位素气体的在线自动调控，便可将混合气体按要求气量及比例快速注入新组件或工艺系统，混合气体的气量控制、氢同位素比例的检测及调控同时完成；本发明提供的装置及方法可将氢同位素气体按预设的任意气量及比例快速配制，还可对其气量及同位素比例

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113694820 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202111048402.5 G01D 21/02 (2006.01) (22)申请日 2021.09

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