气密封接闸流管内空心电极表面的清洗方法.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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气密封接闸流管内空心电极表面的清洗方法.pdf

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本发明公开了气密封接闸流管内空心电极表面的清洗方法，通过先将气密封接闸流管接入用于为其空心电极进行高温烘烤的装置、为其内部各组件进行抽真空的第一真空系统内和为其外部空间进行抽真空的第二真空系统，然后将第一、二空心电极分别连接至电源正负极，先开启第一真空系统，然后进行高温烘烤和开启第二真空系统，降温后通入纯化的氢气进行离子清洗，然后更换电源正负极进行另一电极的清洗。本发明不仅操作方便，而且能够将阳极表面的残留物污染物彻底去除，可共用闸流管排气系统，不必单独使用等离子清洗设备，只需单独提供一套可移动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113737198 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110979179.X (22)申请日 2021.08.25 (71)申请人昆山

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