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防尘MEMS模组、麦克风装置以及电子设备.pdfVIP

防尘MEMS模组、麦克风装置以及电子设备.pdf

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    本公开涉及一种防尘MEMS模组、麦克风装置以及电子设备。所述防尘MEMS模组包括：电路板和防尘膜；所述电路板具有相背设置的第一表面和第二表面，所述电路板上开设有贯穿所述第一表面和所述第二表面的通孔；所述电路板的第二表面凹陷形成有凹陷槽，所述凹陷槽与所述通孔连通；所述凹陷槽的底面具有连接部；所述防尘膜的第一表面上设置有金属层，所述金属层与所述连接部焊接，以使所述防尘膜设置在所述凹陷槽内并覆盖所述通孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113747329 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110930378.1 (22)申请日 2021.08.13 (71)申请人 歌尔微电子股份有限公司

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