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本发明涉及一种多孔陶瓷静电吸盘,包括吸盘本体,所述吸盘本体上设有若干规律分布且上下贯穿的氦气孔,各个所述氦气孔通过设于吸盘本体上表面且呈闭环结构的沟槽组连通。本发明具有氦气孔分布均匀全面,且氦气分布均匀,保证静电吸盘表面的温度分布均匀性等特点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113725141 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111012469.3
(22)申请日 2021.08.31
(71)申请人 浙江新纳陶瓷新材有限公司
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