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本发明提供能够在使用液处理装置对基片进行液处理时，提高生产率的液处理方法和液处理装置。对基片供给处理液以进行液处理的液处理方法中，当在第一涂敷模块中执行第一喷嘴的试喷时，在第二涂敷模块中成为能够对作为下一个液处理对象的基片开始液处理的状态之前，判断并决定是否进行第二喷嘴的试喷，其中，上述第一喷嘴是在上述第一涂敷模块中用于将上述处理液供给到基片以进行该基片的液处理的喷嘴，上述第二喷嘴是在第二涂敷模块中对作为上述基片的上述下一个液处理对象的基片供给上述处理液以进行液处理的喷嘴。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113745102 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202110551004.9
(22)申请日 2021.05.20
(30)优先权数据
2020-0944
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