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一种声表面波增强型深紫外探测器及其制备方法，所述声表面波增强型深紫外探测器依次包括铌酸锂衬底、半导体薄膜及设置于所述半导体薄膜表面的两对欧姆电极；所述两对欧姆电极其一用于接收并传播声表面波并使其调制薄膜与衬底的能带结构，以提高光生载流子的数量及传输效率，另一则用于收集光生载流子并转化为电信号输出，并接通外接参数分析仪评估探测器对于光辐射的响应度、探测率等一系列性能指标。本发明的声表面波增强型深紫外探测器能够通过声表面波的外部刺激显著增强探测器的响应度等一系列性能指标。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113725314 B
(45)授权公告日 2022.04.01
(21)申请号 202111283484.1 审查员 程凯芳
(22)申请日 2021.11.01
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