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2023-07-02 发布于四川
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MTJ器件及其制作方法以及MRAM.pdf

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本发明提供了一种MTJ器件及其制作方法以及MRAM，该MTJ器件包括：衬底；设置在所述衬底上的叠层结构，所述叠层结构具有多层依次层叠的功能层；所述叠层结构包括：第一部分MTJ、第二部分MTJ和第三部分MTJ；所述第一部分MTJ中任一所述功能层的延伸方向与所述第三部分MTJ中同一所述功能层的延伸方向平行，且垂直于所述第二部分MTJ中同一所述功能层的延伸方向；所述第一部分MTJ中任一所述功能层与所述第三部分MTJ中同一所述功能层位于所述第二部分MTJ中同一所述功能层的两侧。应用本发明技术方案，在提高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113725353 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111032793.1 H01L 27/22 (2006.01) (22)申请日 2

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