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一种超低磁阻尼大磁致伸缩铁氧体薄膜制备方法及系统.pdfVIP

一种超低磁阻尼大磁致伸缩铁氧体薄膜制备方法及系统.pdf

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    一种超低磁阻尼大磁致伸缩铁氧体薄膜制备方法及系统，包括以下步骤：步骤1，对镁铝尖晶石MAO衬底进行预处理，用于沉积薄膜；步骤2，将步骤1所得到的基底置于沉积腔内，进行锌/铝共掺杂镍铁氧体NZAFO的沉积工作。本发明采用脉冲激光沉积法在镁铝尖晶石(MAO)衬底上生长NZAFO单晶薄膜，系统研究了生长温度对其结构和磁性能的影响，有助于指导制备具有超低微波阻尼和大磁致伸缩的铁氧体薄膜。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113737275 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110870963.7 (22)申请日 2021.07.30 (71)申请人 西安交通大学 地址

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